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              • OTL1200-1200雙溫區PECVD系統

                OTL1200-1200雙溫區PECVD系統由供氣系統+管式爐+抽氣系統,最高溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度,加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

                更新時間:2022-03-31
                型號:
                廠商性質:生產廠家
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